在 2.45 GHz 频率下产生的微波具有产生等离子体的特优势。在这个频率下,微波可以有效地与气体的电子共振,从而提高电离效率。此外,2.45 GHz 频率允许使用相对较小的腔体尺寸,这对于紧凑型等离子体源的设计非常有用。 微波等离子体源具有多种应用,包括:
电子器件制造:ECR等离子体源在半导体工业中,微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧,可以多个等离子体源组成等离子墙,或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。
Sairem是一家专注于射频与微波技术的公司,其微波源产品可应用于各种领域的加热和干燥需求,包括医药领域的药材加热。 在药材加热方面,Sairem的微波源可以提供高频率、高功率的微波能量,用于对药材进行加热处理。这种加热方式具有快速、的特点,可以准确控制加热温度和加热时间,有效提高药材的品质和功效。 Sairem的微波源产品还可以与其他设备和系统集成,实现自动化的药材加热过程,提高生产效率和产品质量。 总之,Sairem的微波源在药材加热方面有着广泛的应用前景,可以满足药材加热的需求,并提高药材的质量和效果。
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